煤氣棒（世偉洛克和Mks儀器）

氣體棒用于將超高純度工藝和吹掃氣體輸送到半導(dǎo)體設(shè)備（PVD、BEP、ICP-RIA、PELD）的真空反應(yīng)器。物料清單：閥門6LVV-DPMR 4-P（Swagelok）-1，壓力調(diào)節(jié)器SS-HFM 3B-MCR 4-P-C（Swagelok）-1，壓力表PGU 50-MC 02-C-4 RSM（Swagelok）-1，過濾器SS-SCF 3-VR 4-P-30（Swagelok）-1，閥門6LVV-DPFR 4-P-C（Swagelok）-2，MFC 4 VR公1179 C 01311 CR 1BV（Mks Itruments）_1